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6N級高純硅烷和普通硅烷有什么不同？|紐瑞德特氣


高純硅烷的品質無統一規定，各個生產單位生產的硅烷品質通常有微小差別。下表是5N、6N級高純硅烷和普通硅烷品質指標。




從表中可以看出，5N級硅烷除氫氣、氦氣外，雜質氣體氧（氬）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他雜質氣體均在0.2ppmv。6N級硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個數量級，氯化物甚至達到了15ppmv，高了兩個數量級。

紐瑞德氣體知識展示圖2


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