
激光混合氣分類及用途
由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光性能,特別是氣體中的氧、水、碳氫化合物等雜質的存在,將導致激光激光輸出功率在鏡面和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。所以需要氣體的純度和鋼瓶的處理。鋼瓶充裝前必須要進行干燥處理,防止污染混合氣。
如果將氦氖激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。下圖列出常見的氦氖激光混合氣、二氧化碳混合氣、氪氟激光混合氣、密封束混合氣和準分子激光混合氣的組成和具體用途。


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