
一般混合氣體與電子混合氣分類
隨著我國工業技術的不斷發展,我們對特種氣體的需求量不斷增加。特種氣體有別于一般工業氣體,它是具有特殊用途,并在特定領域中應用的,對純度、雜質含量、組成、物化性能等方面有特殊要求的一類氣體產品。與工業氣體相比,特種氣體的品種多而產銷量小,常用的混合氣和標準校正氣即特種氣體的重要組成部分。
常用氣體又分為:一般混合氣體與電子混合氣體。
電子混合氣體包括:外延混合氣、化學氣相淀積混合氣、摻雜混合氣、蝕刻混合氣及其他電子混合氣。
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